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太陽電池:

結晶性シリコン(cSi)ベースの太陽電池や薄層モジュール >>>


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フラットパネル・ディスプレー技術:

G1からG10までの基質、厚さ6mmまでのガラス >>>


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半導体:

450mmまでの標準ウエハー、厚さ40µmまでの薄型ウエハー >>>


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特殊ソリューション:

例えば、包装技術、電子部品組付など >>>

超清潔:汚染無し

超迅速:高いスループット(処理量)

超マイルド:破損率低下 – 収量増

全く新しいプロセスデザイン:プロセス・チェーンの簡略化

高い節約ポテンシャル:所有トータル・コスト、エネルギー

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見本市と予定表

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ニュース

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