LeviWafer-Greifer
BERÜHRUNGSLOSER ENDEFFEKTOR
Mit dem LeviWafer-Greifer-Transportsystem ist es möglich, sensible Wafer berührungslos zu heben und zu transportieren. In Kombination mit dem Transport ist auch das Be- und Entladen von Kassetten oder Stapeln möglich.
Keine Kratzer auf dem Substrat durch den Transport
Der Ultraschallgreifer hält mit Hilfe der Ultraschalllager Technologie den Wafer auf Abstand und ermöglicht dadurch einen kontaktlosen Transport. Neben Mikro-Kratzern werden Verunreinigungen durch Partikel vermieden, sodass ein Einsatz des Greifers im Reinraum möglich ist.
Der LeviWafer-Greifer kann mit einem Single- oder Double-Paddle konstruiert werden.
Der LeviWafer-Greifer kann mit einem Single- oder Double-Paddle konstruiert werden.
Merkmale des LeviWafer-Greifers:
- Berührungslose Aufnahme
- Kein Einsatz von Druckluft notwendig
- Geeignet für Standardkassetten
- Individualisierbar nach Kundenvorgaben
