„DIE NUMMER 1“ FÜR BERÜHRUNGSLOSES ULTRASCHALL-HANDHABEN

„DIE NUMMER 1“ FÜR BERÜHRUNGSLOSES ­‌ULTRASCHALL-HANDHABEN

„DIE NUMMER 1“ FÜR BERÜHRUNGSLOSES ULTRASCHALL-HANDHABEN

zs-handling Medizintechnk: Berührungslose Handhabung von Intraokularlinsen

LeviWafer-Greifer

BERÜHRUNGSLOSER ENDEFFEKTOR

 

Mit dem LeviWafer-Greifer-Transportsystem ist es möglich, sensible Wafer berührungslos zu heben und zu transportieren. In Kombination mit dem Transport ist auch das Be- und Entladen von Kassetten oder Stapeln möglich.

Keine Kratzer auf dem Substrat durch den Transport
Der Greifer hält mit Hilfe der Ultraschalllager-Technologie den Wafer auf Abstand und ermöglicht dadurch einen kontaktlosen Transport. Neben Mikro-Kratzern und -Rissen werden Verunreinigungen durch Partikel vermieden, da ohne Druckluft keine Luftverwirbelungen entstehen. Deshalb ist der Greifer auch für den Reinraum sehr gut geeignet. Der LeviWafer-Greifer kann mit einem Single- oder DoublePaddle konstruiert werden.

Merkmale des LeviWafer-Greifers:

  • Berührungslose Aufnahme
  • Keine Mikrokratzer, Mikrorisse oder Partikel
  • Geeignet für Standardkassetten
  • Geringer Energieverbrauch
  • Individualisierbar nach Kundenvorgaben
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Anwendungen

Wafer und Chips

Prozesse

Be- und entladen Greifen

Weitere Informationen
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