
LeviWafer-Greifer
BERÜHRUNGSLOSER ENDEFFEKTOR
Mit dem LeviWafer-Greifer-Transportsystem ist es möglich, sensible Wafer berührungslos zu heben und zu transportieren. In Kombination mit dem Transport ist auch das Be- und Entladen von Kassetten oder Stapeln möglich.
Merkmale des LeviWafer-Greifers:
- Berührungslose Aufnahme
- Keine Mikrokratzer, Mikrorisse oder Partikel
- Geeignet für Standardkassetten
- Geringer Energieverbrauch
- Individualisierbar nach Kundenvorgaben
