LeviWafer-Greifer
BERÜHRUNGSLOSER ENDEFFEKTOR
Mit dem LeviWafer-Greifer-Transportsystem ist es möglich, sensible Wafer berührungslos zu heben und zu transportieren. In Kombination mit dem Transport ist auch das Be- und Entladen von Kassetten oder Stapeln möglich.
Keine Kratzer auf dem Substrat durch den Transport
Der Greifer hält mit Hilfe der Ultraschalllager-Technologie den Wafer auf Abstand und ermöglicht dadurch einen kontaktlosen Transport. Neben Mikro-Kratzern und -Rissen werden Verunreinigungen durch Partikel vermieden, da ohne Druckluft keine Luftverwirbelungen entstehen. Deshalb ist der Greifer besonders für hochsaubere Reinräume geeignet. Der LeviWafer-Greifer kann mit einem Single- oder DoublePaddle konstruiert werden.
Merkmale des LeviWafer-Greifers:
- Hohe Positioniergenauigkeit
- Berührungslose Aufnahme
- Keine Mikrokratzer, Mikrorisse oder Partikel
- Geeignet für Standardkassetten
- Geringer Energieverbrauch
- Individualisierbar nach Kundenvorgaben
